3,5-二取代吡唑和六甲基二硅氮烷镧（钆）配合物及其合成方法与应用

摘要

一类3，5-二取代吡唑和六甲基二硅氮烷镧(钆)配合物，其特征在于用下述通式表示：其中：Ln＝La或Gd；n＝1或2；R＝Ph、CH₃、CH₂CH₃、ⁱPr、ⁿPr、ⁿBu或^tBu。本发明结合3，5-二取代吡唑及六甲基二硅氮烷这两种配体的优点，六甲基二硅氮烷具有很大的空间位阻，3，5-二取代吡唑配体的位阻可以通过调节两个取代基的大小来调节。可以有效防止稀土多聚物的形成，有利于提高挥发性。

主权项

1.3,5-二取代吡唑和六甲基二硅氮烷镧配合物在制备三氧化二镧薄膜上的应用，其特征在于基底：Si，SiO₂；载气：N₂，Ar；反应的衬底温度为250℃，在气流量为：30~50sccm，反应腔工作压强保持在5×10^-6Tor；一个周期内，3,5-二取代吡唑和六甲基二硅氮烷镧配合物的脉冲长度为1.5s，H₂O的脉冲长度为0.05s，La₂O₃的生长速率为0.50Å/cycle,循环60个周期；所述3,5-二取代吡唑和六甲基二硅氮烷镧配合物的制备方法为：在惰性气体保护下，分别将0.510mmol三[N,N-双(三甲基硅基)胺]镧La[N(SiMe₃)₂]₃和0.510mmol3,5-二甲基吡唑Me₂PzH溶于40mL四氢呋喃中，然后在25℃反应24h，溶液颜色由无色变为亮黄色，减压除去无水有机溶剂，剩余浓缩物经重结晶，得到3,5-二取代吡唑和六甲基二硅氮烷镧配合物La[PzMe₂][N(SiMe₃)₂]₂。