发明名称 微机械元件、具有微机械元件的部件和用于制造部件的方法
摘要 本发明涉及一种微机械元件(123a)、一种具有微机械元件(123a)的部件(100)和一种用于制造部件(100)的方法。在此,微机械元件(123a)具有多个单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a),其中,通过第一单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第一物理测量参数,并且通过第二单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第二物理测量参数。
申请公布号 CN104024144A 申请公布日期 2014.09.03
申请号 CN201280065850.9 申请日期 2012.11.02
申请人 大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司 发明人 S·甘特奈尔;B·施密德
分类号 B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01D5/12(2006.01)I 主分类号 B81B7/02(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 代理人 殷玲;吴鹏
主权项 一种微机械元件(123a),其具有多个单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a),其中,通过第一单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第一物理测量参数,通过第二单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第二物理测量参数。
地址 德国法兰克福