发明名称 |
微机械元件、具有微机械元件的部件和用于制造部件的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种微机械元件(123a)、一种具有微机械元件(123a)的部件(100)和一种用于制造部件(100)的方法。在此,微机械元件(123a)具有多个单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a),其中,通过第一单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第一物理测量参数,并且通过第二单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第二物理测量参数。 |
申请公布号 |
CN104024144A |
申请公布日期 |
2014.09.03 |
申请号 |
CN201280065850.9 |
申请日期 |
2012.11.02 |
申请人 |
大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司 |
发明人 |
S·甘特奈尔;B·施密德 |
分类号 |
B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01D5/12(2006.01)I |
主分类号 |
B81B7/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 11247 |
代理人 |
殷玲;吴鹏 |
主权项 |
一种微机械元件(123a),其具有多个单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a),其中,通过第一单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第一物理测量参数,通过第二单独传感器元件(1'a、2'a、3'a、23a)能够测量第二物理测量参数。 |
地址 |
德国法兰克福 |