一种离子束流glitch规避装置及方法

摘要

本发明公开了一种离子束流glitch规避装置及方法，规避装置包括用于实时检测束流值的束流检测装置，所述束流检测装置与运动控制器连接，所述运动控制器控制直线电机运动，并判断所述束流值是否降低到安全阀值以下；所述运动控制器与所述直线电机之间并联有电源控制装置，所述电源控制装置与电源连接。本发明的装置结构简单、可靠性高、实时性好，能够很好地对束流glitch进行规避，完善剂量计算及控制；本发明的装置和方法能满足离子注入机剂量控制的需要，从而提高了晶圆的合格率，改善了晶圆注入质量。

主权项

一种离子束流glitch规避装置，其特征在于，包括用于实时检测束流值的束流检测装置，所述束流检测装置与运动控制器连接，所述运动控制器控制直线电机运动，并判断所述束流值是否降低到安全阀值以下；所述运动控制器与所述直线电机之间并联有电源控制装置，所述电源控制装置与电源连接；若束流检测装置检测到束流值降低到安全阀值以下，则运动控制器向电源控制装置发出关闭电源信号，电源控制装置关闭电源，进而切断束流；同时，运动控制器记录下直线电机输出轴的运动位置，并使直线电机输出轴在束流切断后继续运动；直线电机输出轴运动至极限位置时停止，运动控制器向电源控制装置发出开启电源的信号，从而产生束流；待束流稳定后，运动控制器控制直线电机输出轴运动至切断束流时的位置处，再次向电源控制装置发出关闭信号时电源关闭，从而再次切断束流，并控制直线电机输出轴运动至停止处，完成一次对离子束流glitch的规避；其中，所述安全阈值为3～7V。