一种衍射光栅输入输出的表面等离子共振传感器

摘要

本发明涉及一种衍射光栅输入输出的表面等离子共振传感器，包括衍射光栅与金属三角纳米粒子形成的波导结构，其特征是：所述波导结构是由排列在衍射光栅抗蚀层上的金属三角纳米粒子构成；金属三角纳米粒子的形成首先是通过在抗蚀层上利用尺寸分散的聚丙乙烯纳米球进行自组装形成淀积掩膜，然后金属通过高温或电子束蒸发的方法溅射到纳米球层中，再通过清洗移除聚丙乙烯纳米球后，残留的金属即形成排列好的三角纳米粒子。其优点是：在充分发挥SPR技术优势的同时，不再拘泥于SPR传感器仅仅作为单一器件实现生物信号测量，衍射光栅结构提供了技术集成的基础，且以现有制备技术而言，易于实现。

主权项

一种衍射光栅输入输出的表面等离子共振传感器，包括衍射光栅与金属三角纳米粒子形成的波导结构，其特征是：所述衍射光栅是通过在P_yrex玻璃板的一个板面上制作聚甲基丙烯酸甲酯的抗蚀层，在没有抗蚀层的玻璃板板面上蚀刻出的单维衍射光栅，所述波导结构是由排列在衍射光栅抗蚀层上的金属三角纳米粒子构成；金属三角纳米粒子的形成首先是通过在抗蚀层上利用尺寸分散的聚丙乙烯纳米球进行自组装形成淀积掩膜，然后金属通过高温或电子束蒸发的方法溅射到纳米球层中，再通过清洗移除聚丙乙烯纳米球后，残留的金属即形成排列好的三角纳米粒子。