电容耦合等离子体反应器的有嵌入式RF 电极的陶瓷喷头

摘要

本发明涉及电容耦合等离子体反应器的有嵌入式RF电极的陶瓷喷头，具体而言，用于衬底处理系统的喷头组件包括连接到气体通道的背板。面板被相邻连接到背板的第一表面且包括气体扩散表面。电极布置在背板和面板之一中且被连接到一或多个导体。气体空间被限定在背板和面板之间且与气体通道流体连通。背板和面板由非金属材料制成。

主权项

一种用于衬底处理系统的喷头组件，其包括：连接到气体通道的背板；相邻连接到所述背板的第一表面且包括气体扩散表面的面板；一或多个导体；以及布置在所述背板和所述面板之一中且被连接到所述一或多个导体的电极，其中气体空间被限定在所述背板和所述面板之间且与所述气体通道流体连通，且其中所述背板和所述面板由非金属材料制成。