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一种角速率传感器，用于检测围绕第一、第二和第三正交输入轴的旋转，包括：基板；传感构架，其被布置在由所述第一和第二正交输入轴形成的平面中；用于把所述传感构架安装在所述基板上并且允许所述传感构架围绕所述第一、第二和第三正交输入轴彼此独立地旋转的装置；多个检验质量，其在该平面中具有预定驱动轴，至少两个驱动轴彼此形成大于0度且小于180度的角度；用于把所述检验质量安装在所述传感构架上并且约束每个检验质量在驱动模式中沿着所述检验质量的驱动轴相对于所述传感构架的线性移动，并且用于在传感模式中与所述传感构架一起旋转的装置；用于将所述检验质量耦合在一起以形成单驱动模式振荡的装置；致动装置，用于驱动所述检验质量在驱动模式中振荡；检测装置，用于响应通过所述检验质量分别围绕所述第一、第二和第三正交输入轴的旋转而产生的科里奥利力，检测所述检验质量和所述传感构架围绕所述第一、第二和第三正交输入轴的传感模式旋转；其中，所述检测装置包括：电极板，其被布置在所述检验质量和所述传感构架下面的基板上，以便与所述检验质量和所述传感构架形成电容器以用于检测围绕所述第一和第二正交输入轴的感应旋转；平行板电容器，具有安装在所述传感构架上并且与接附到所述基板的固定板交插的移动板，以用于检测围绕所述第三正交输入轴的感应旋转。 |
