一种基于数字微镜器件的光束角度调制装置及方法

摘要

本发明公开一种基于数字微镜器件的光束角度调制装置及方法，包括光源、DMD及DMD控制器；光源发出的光束照射到DMD上，利用DMD控制器控制所述DMD的微镜阵列偏转，从而对光源光束的角度进行调制，使经过所述DMD反射后的光束投射在被测物面时呈现所需要的角度，实现对光束角度的调整。本发明利用DMD偏转微镜的参数可决定光束照射在被测物面上的角度的特点，利用DMD控制器控制DMD的微镜阵列偏转，实现对照射在被测物表面的光束的角度矫正。将本发明应用于光学系统测量中，无需对测量系统硬件做任何变动，仅通过软件编程实现对光源的控制，可根据需要准确地控制光源光束的角度，从而达到角度调整的要求。

主权项

一种基于数字微镜器件的光束角度调制装置，其特征在于：包括光源、DMD及DMD控制器；所述光源发出的光束照射到所述DMD上后反射到被测物表面上；所述DMD设置有由复数个反射微镜组成的微镜阵列；所述DMD控制器与所述DMD相连，用于控制该DMD的微镜阵列偏转。