具有内表面的容纳单氯硅烷的容器

摘要

本发明涉及容器和用于钝化容器的内表面以使得以稳定的方式储存单氯硅烷而没有单氯硅烷的降解的处理方法。已经确定了降低表面反应至可接受的水平的各种容器表面改性。所述表面改性的一些导致单氯硅烷的不稳定性显著降低。

主权项

一种具有内表面的容纳一定体积的单氯硅烷的容器，其中，所述内表面包含碳钢或不锈钢且在储存单氯硅烷之前已通过机械抛光然后暴露于硅氢化物或氯硅烷进行改性，其中所述容器能够稳定地储存单氯硅烷以使得环境温度下每月的单氯硅烷分解率低于0.1％。