发明名称 一种晶体硅太阳能电池减反膜
摘要 本实用新型公开了一种晶体硅太阳能电池减反膜,依次包括设于硅片衬底上的非晶硅膜层、设于非晶硅膜层上的第一富硅氮化硅膜层、设于第一富硅氮化硅膜层上的第二富硅氮化硅膜层;所述晶体硅太阳能电池减反膜的总厚度为78~92nm,其综合折射率为2.0~2.20。本实用新型设计得到了一种新的减反膜结构,实验证明,该减反射膜可以明显降低电池片表面对光的反射,增加硅片光的吸收,同时具有很好的钝化效果,提高晶体硅太阳能电池的光电转换效率。
申请公布号 CN203812887U 申请公布日期 2014.09.03
申请号 CN201320849794.X 申请日期 2013.12.20
申请人 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 发明人 张春华;李栋;高文丽;孟祥熙;许涛
分类号 H01L31/0216(2014.01)I 主分类号 H01L31/0216(2014.01)I
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人 陶海锋;陆金星
主权项 一种晶体硅太阳能电池减反膜,其特征在于:依次包括设于硅片衬底上的非晶硅膜层(1)、设于非晶硅膜层上的第一富硅氮化硅膜层(2)、设于第一富硅氮化硅膜层上的第二富硅氮化硅膜层(3);所述晶体硅太阳能电池减反膜的总厚度为78~92 nm,其综合折射率为2.0~2.20。
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