改善选择发射极轻扩区方阻均匀性结构

摘要

本实用新型公开了一种改善选择发射极轻扩区方阻均匀性结构，在相邻的腐蚀药液喷淋装置之间设置有去除残留在电池片上的腐蚀药液的组件。本实用新型在不影响正常工艺的同时，降低掩膜主电极中的方阻，从而改善轻扩区方阻的均匀性，最终提高了太阳能电池的转换效率。

主权项

一种改善选择发射极轻扩区方阻均匀性结构，其特征在于：在相邻的腐蚀药液喷淋装置（1）之间设置有去除残留在电池片上的腐蚀药液的组件。