加速度传感器

摘要

本发明提供一种即便在气氛温度发生了变化时加速度检测精度也难以下降、且制造容易的加速度传感器。压电基板(11)包括被极化的部(11A)、第1端部(11B)和第2端部(11C)。第1电极(12a)在压电基板11的第1主面(11a)之上被形成为从第1端部(11B)至第2端部(11C)。第2电极(13a)在压电基板11的内部被形成为遍及第2端部(11C)和部(11A)。第2电极(13a)在部(11A)于厚度方向和第1电极(12a)对置。支承部件(30)夹持第2端部(11C)。压电基板(11)被构成为第2端部(11C)中的第1电极(12a)与第2电极(13a)之间的距离变得大于部(11A)中的第1电极(12a)与第2电极(13a)之间的距离。

主权项

一种加速度传感器，具备：压电元件，具有压电基板、第1电极和第2电极，所述压电基板具有第1以及第2主面，所述压电基板包括第1方向上的中央部、在所述第1方向上位于所述中央部的一侧的第1端部、和在所述第1方向上位于所述中央部的另一侧的第2端部，所述压电基板的所述中央部被极化，所述第1电极在所述压电基板的所述第1主面之上被形成为从所述第1端部至所述第2端部，所述第2电极在所述压电基板的内部被形成为遍及所述第2端部和所述中央部，所述第2电极在所述中央部于所述压电基板的厚度方向上和所述第1电极对置；支承部件，夹持所述第2端部，并形成了容纳有所述压电元件的内部空间；第1外部电极，被形成在所述支承部件的外表面之上，并电连接了所述第1电极；和第2外部电极，被形成在所述支承部件的外表面之上，并电连接了所述第2电极，所述压电基板被构成为所述第2端部中的所述第1电极与所述第2电极之间的距离变得大于所述中央部中的所述第1电极与所述第2电极之间的距离。