基于驻极体的MEMS电场传感器

摘要

本发明属于传感器技术领域，尤其涉及一种基于驻极体的MEMS电场传感器，主要用于空间中低频交流电场的测量。该传感器包括：绝缘基板、细条、细丝、支撑面、驻极体；其中细丝置于绝缘基板平行上方，并与基板上的导电细条构成电容。通过支撑面上粘附的驻极体构成的静电场，对处于场中的金属细丝提供适当的偏置。当外加交流电场时金属细丝会产生相应频率和振幅的振动，本发明通过检测金属细丝和基板上导电细条构成的电容的变化来测量外加交流电场的大小和幅值。本发明采用MEMS微加工工艺制造，体积小，携带方便，设备简单，相比于已有的光纤测量系统成本低很多。

主权项

一种基于驻极体的MEMS电场传感器，其特征在于，主要由绝缘基板、细条、细丝、支撑面、驻极体所组成。