流量控制阀以及流量控制阀用的滑阀位置检测装置

摘要

本发明提供一种流量控制阀以及流量控制阀用的滑阀位置检测装置，其具有：磁响应性的目标探针（31），其安装在流量控制阀的滑阀（12）的一端；以及传感器壳体（32），其安装在套筒（11）的一端。传感器壳体（32）具有形成有容许目标探针（31）的进入的内部空间的筒部（33），在筒部（33）的周围设置有沿轴向隔着规定间隔而配置的第1及第2线圈（C1、C2）。探针（31）形成使相对于线圈的磁响应性与该探针的直线位置对应而向一个方向逐渐变化的构造。配置为第1线圈（C1）与探针（31）进行感应，第2线圈（C2）不感应。第1线圈（C1）的阻抗与探针（31）的直线位置对应而变化，通过对第1及第2线圈的输出进行差动合成，从而检测探针（31）的直线位置。

主权项

一种流量控制阀，其在具有多个端口的套筒内，可滑动地收容具有多个阀体的滑阀，通过利用致动器使该滑阀直线地移动，进行流量控制，其特征在于，具有：大致直线状的目标探针，其安装在所述滑阀的一端，由磁响应性的材质构成；开口，其设置在所述套筒的一端，以容许所述目标探针通过；传感器壳体，其安装在所述套筒的所述一端，用于检测所述目标探针的直线位置，其中，所述传感器壳体具有筒部，该筒部形成有容许所述目标探针进入的内部空间，所述内部空间与所述套筒的所述一端的所述开口连结，所述筒部由非磁性体构成；以及第1线圈以及第2线圈，其在所述传感器壳体内的所述筒部的周围，沿轴向隔着规定间隔而配置，所述第1线圈配置为与所述目标探针进行感应，所述目标探针具有体积逐渐减小的锥形形状的前端部分，使相对于该第1线圈的磁响应性与该目标探针的直线位置对应而向一个方向逐渐变化，并且所述第2线圈构成为，至少在所述目标探针的规定的直线位移范围内不与该目标探针的直线位移进行感应，通过将所述第1及第2线圈的输出进行差动合成，从而检测所述目标探针的直线位置即所述滑阀的位置，并且，相对于所述目标探针，所述第1线圈位于近端侧，第2线圈位于远端侧，在所述第2线圈的内侧，环状地设置磁响应性屏蔽部件，所述目标探针构成为，具有使其前端进入远端侧的所述第2线圈的感应区域的长度，在其前端进入远端侧的所述第2线圈的感应区域时，利用所述磁响应性屏蔽部件使所述第2线圈不与所述目标探针进行感应。