发明名称 |
一种底部分离式碳化硅晶体生长用石墨坩埚 |
摘要 |
本实用新型涉及一种底部分离式碳化硅晶体生长用石墨坩埚,包括坩埚壁与坩埚底盖,所述坩埚壁与所述坩埚底盖相连接,且形成一封闭内腔,所述坩埚底盖的内壁上设有一层隔离层。本实用新型的坩埚壁与坩埚底盖可拆分,在晶体生长结束后,可以将坩埚底盖和坩埚壁很容易的分拆,不受底部沉积的晶体的影响,提高坩埚利用率,使清理坩埚工作得以简化。 |
申请公布号 |
CN203807591U |
申请公布日期 |
2014.09.03 |
申请号 |
CN201320738809.5 |
申请日期 |
2013.11.20 |
申请人 |
河北同光晶体有限公司 |
发明人 |
高宇;邓树军;段聪;赵梅玉;陶莹 |
分类号 |
C30B23/00(2006.01)I;C30B29/36(2006.01)I |
主分类号 |
C30B23/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京轻创知识产权代理有限公司 11212 |
代理人 |
杨立 |
主权项 |
一种底部分离式碳化硅晶体生长用石墨坩埚,其特征在于:包括坩埚壁与坩埚底盖,所述坩埚壁与所述坩埚底盖相连接,且形成一封闭内腔,所述坩埚底盖的内壁上设有一层隔离层。 |
地址 |
071000 河北省保定市北二环5699号大学科技园6号楼B座四楼A007 |