发明名称 一种底部分离式碳化硅晶体生长用石墨坩埚
摘要 本实用新型涉及一种底部分离式碳化硅晶体生长用石墨坩埚,包括坩埚壁与坩埚底盖,所述坩埚壁与所述坩埚底盖相连接,且形成一封闭内腔,所述坩埚底盖的内壁上设有一层隔离层。本实用新型的坩埚壁与坩埚底盖可拆分,在晶体生长结束后,可以将坩埚底盖和坩埚壁很容易的分拆,不受底部沉积的晶体的影响,提高坩埚利用率,使清理坩埚工作得以简化。
申请公布号 CN203807591U 申请公布日期 2014.09.03
申请号 CN201320738809.5 申请日期 2013.11.20
申请人 河北同光晶体有限公司 发明人 高宇;邓树军;段聪;赵梅玉;陶莹
分类号 C30B23/00(2006.01)I;C30B29/36(2006.01)I 主分类号 C30B23/00(2006.01)I
代理机构 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人 杨立
主权项 一种底部分离式碳化硅晶体生长用石墨坩埚,其特征在于:包括坩埚壁与坩埚底盖,所述坩埚壁与所述坩埚底盖相连接,且形成一封闭内腔,所述坩埚底盖的内壁上设有一层隔离层。
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