基于关联子波干涉的光栅光谱仪系统及提高分辨率的方法

摘要

本发明涉及一种基于关联亚波长干涉的光栅光谱系统及其提高光栅光谱分辨率的方法。该基于关联亚波长干涉的光栅光谱系统包括光源、反射镜、光栅、第一分束器、第二分束器、透镜组、偏振片、面阵探测器，光源发出的光经旋转反射镜投射到光栅，在光栅处形成多缝衍射，其中的一级相干光经第一分束器，分离为相互关联的两束，该两束光分别经由透镜，反射镜，偏振片组成的两条不同路径，在第二个分束器处构成亚波长干涉，再由面阵探测器记录形成光谱。面阵探测器接收干涉信号直接显示光谱，或通过后台计算机适当数据处理抑制噪声、波动、去除背景光后显示光谱，本发明有利于突破瑞利极限的限制，在其它条件不变的情况下提高光栅光谱仪的分辨率。

主权项

基于关联亚波长干涉的光栅光谱系统，其特征在于，包括光源、反射镜、光栅、第一分束器、第二分束器、透镜组、偏振片、面阵探测器，光源发出的光经旋转反射镜投射到光栅，在光栅处形成多缝衍射，其中的一级相干光经第一分束器，分离为相互关联的两束，该两束光分别经由透镜，反射镜，偏振片组成的两条不同路径，在第二个分束器处构成亚波长干涉，再由面阵探测器记录形成光谱。