发明名称 |
超薄类金刚石薄膜过滤膜 |
摘要 |
本发明公开了一种超薄类金刚石薄膜过滤膜,该过滤膜包括基底和直接附着在基底上的超薄类金刚石薄膜层,且薄膜层具有纳米量级孔径的通道。本发明提供的超薄类金刚石薄膜过滤膜具有高硬度,优异的耐磨性以及优异的化学惰性,可应用于分离、过滤和提纯等技术中,有益于环境保护和能源节约。 |
申请公布号 |
CN104014254A |
申请公布日期 |
2014.09.03 |
申请号 |
CN201410239501.5 |
申请日期 |
2014.05.30 |
申请人 |
北京大学 |
发明人 |
颜学庆;朱军高;李韫慧 |
分类号 |
B01D71/02(2006.01)I;B01D69/10(2006.01)I;B01D67/00(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I |
主分类号 |
B01D71/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京康思博达知识产权代理事务所(普通合伙) 11426 |
代理人 |
路永斌;余光军 |
主权项 |
一种超薄类金刚石薄膜过滤膜,该过滤膜包括以下部分:基底和薄膜层,其中,所述薄膜层为由碳离子沉积得到的超薄类金刚石薄膜层,该薄膜层直接附着在基底上,薄膜层厚度为5纳米到10微米,其中存在纳米量级孔径的通道,所述基底为有孔洞的载体或是光刻胶。 |
地址 |
100871 北京市海淀区颐和园路5号 |