发明名称 |
叠层体的制造方法 |
摘要 |
本发明提供新的在蓝宝石基板上生长III族极性的生长方法。利用有机金属气相生长法,制作在蓝宝石基板上叠层含Al量多的III族氮化物构成的单晶层的叠层体的制造方法,包含与使该III族氮化物单晶生长用的原料气体一起,将氧源气体向蓝宝石基板上提供,使含氧浓度为1×10<sup>20</sup>cm<sup>-3</sup>以上5×10<sup>21</sup>cm<sup>-3</sup>以下的初期单晶层以15nm以上40nm以下的厚度形成的第一生长工序、以及对该初期单晶层上提供该原来气体而不提供氧源气体,或在提供该原料气体的同时,提供比第1生长工序少的氧源气体,以形成比初期单晶层氧浓度低的第二III族氮化物单晶层的第二生长工序。 |
申请公布号 |
CN102549203B |
申请公布日期 |
2014.09.03 |
申请号 |
CN201080043215.1 |
申请日期 |
2010.09.28 |
申请人 |
株式会社德山 |
发明人 |
木下亨;高田和哉 |
分类号 |
H01L21/205(2006.01)I;C30B29/38(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;H01L33/32(2010.01)I |
主分类号 |
H01L21/205(2006.01)I |
代理机构 |
上海天翔知识产权代理有限公司 31224 |
代理人 |
刘粉宝 |
主权项 |
一种叠层体的制造方法,是利用有机金属气相生长法,制造在蓝宝石基板上叠层满足Al<sub>X</sub>Ga<sub>Y</sub>In<sub>Z</sub>N表示的组成的III族氮化物构成的单晶层的叠层体的制造方法,其中,X、Y、以及Z分别为满足0.9≤X≤1.0、0.0≤Y≤0.1、0.0≤Z≤0.1的有理数,X+Y+Z=1.0,其特征在于,包含下述工序,即与使该III族氮化物单晶生长用的原料气体、即III族原料气体、以及氮源气体一起,将氧源气体向蓝宝石基板上提供,以此使含氧浓度为5×10<sup>20</sup>cm<sup>-3</sup>以上4×10<sup>21</sup>cm<sup>-3</sup>以下的,满足所述组成的III族氮化物构成的初期单晶层在该蓝宝石基板上生长15nm以上40nm以下厚度的第一生长工序、以及向该初期单晶层上提供该原料气体,而不提供氧源气体,或提供该原料气体,同时提供比第一生长工序少的供给量的氧源气体,使比初期单晶层氧浓度低的,满足所述组成的III族氮化物构成的第二III族氮化物单晶层生长的第二生长工序。 |
地址 |
日本山口县周南市御影町1番1号 |