MEMS麦克风及电子设备

摘要

本实用新型提供了一种MEMS麦克风及电子设备，该MEMS麦克风包括第一麦克风外壳、印刷电路板、MEMS芯片及ASIC芯片，印刷电路板与第一麦克风外壳形成第一腔体，两芯片设于印刷电路板的内侧并通过金属线电连接，MEMS芯片与印刷电路板的内侧之间的空腔为背腔，MEMS麦克风还包括第二麦克风外壳且其上设音孔，第二麦克风外壳罩设于第一麦克风外壳外且与印刷电路板结合，两麦克风外壳之间形成第二腔体，印刷电路板上设第一盲孔、第二盲孔及连通两盲孔的第一通道，第一盲孔连通第二腔体，第二盲孔连通背腔。该MEMS麦克风可降低MEMS麦克风的声音阻尼，提高MEMS麦克风的信噪比及声音灵敏度。

主权项

一种MEMS麦克风，包括第一麦克风外壳、印刷电路板、MEMS芯片及ASIC芯片，所述印刷电路板与所述第一麦克风外壳结合形成第一腔体，所述印刷电路板与所述第一麦克风外壳相结合的一侧为印刷电路板的内侧，所述MEMS 芯片和ASIC芯片设置于所述印刷电路板的内侧并通过金属线实现三者的电连接，所述MEMS芯片与所述印刷电路板的内侧之间的空腔为MEMS麦克风的背腔，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括第二麦克风外壳，所述第二麦克风外壳上设置有音孔，所述第二麦克风外壳罩设于所述第一麦克风外壳之外且与所述印刷电路板相结合，所述第二麦克风外壳、第一麦克风外壳与印刷电路板之间形成第二腔体；所述印刷电路板上设有第一盲孔、第二盲孔及连通所述第一盲孔和第二盲孔的第一通道，所述第一盲孔连通于所述第二腔体，所述第二盲孔连通于所述MEMS麦克风的背腔。