研磨剂用添加剂及研磨方法

摘要

本发明涉及一种研磨剂用添加剂，其在反复使用的研磨剂被反复使用的期间内随时添加到该研磨剂中，由此能够抑制研磨剂的研磨特性、特别是研磨速度的降低。另外，本发明涉及一种研磨方法，其利用反复使用的研磨剂，该研磨方法能够抑制研磨剂的研磨特性、特别是研磨速度的降低。

主权项

一种研磨剂用添加剂，其为在研磨剂在至少一次研磨中使用后含有单晶基板的被磨掉物的状态下向所述研磨剂中添加的、含有研磨辅助粒子的研磨剂用添加剂，所述研磨剂反复用于对所述单晶基板的被研磨面进行研磨并且含有使用前的初始含量相对于研磨剂总量为2～40质量％的至少一种磨粒，所述研磨剂用添加剂中，所述研磨辅助粒子的平均一次粒径相对于所述磨粒中平均一次粒径最大的最大粒径磨粒的平均一次粒径为0.04～0.34倍，所述添加剂中的所述研磨辅助粒子的含量为使在所述研磨剂中以规定量添加所述添加剂后的研磨剂中所述研磨辅助粒子相对于研磨剂总量的含量相对于所述研磨剂中的磨粒的初始含量为0.05～20倍的含量。