处理多晶硅尾气的方法和系统

摘要

本发明公开了一种处理多晶硅尾气的方法和系统，该方法包括：(1)将罐区尾气、精馏塔区尾气和还原车间吹扫尾气中的至少之一进行第一冷凝处理，以便分别得到第一氯硅烷冷凝液和第一不凝气；(2)将得到的第一氯硅烷冷凝液进行第一精馏处理，以便分别获得第一液态轻组分和第一液态重组分；(3)将得到的第一液态轻组分进行反歧化处理，以便得到三氯氢硅；(4)将得到的三氯氢硅进行吸附处理，以便得到纯净三氯氢硅；以及(5)将得到的第一液态重组分进行第二精馏处理，以便得到第二液态轻组分和第二液态重组分，并将第二液态轻组分返回步骤(2)进行第一精馏处理。该方法可以显著降低冷量的消耗，并减少尾气的排放。

主权项

一种处理多晶硅尾气的方法，所述多晶硅尾气包含罐区尾气、精馏塔区尾气、还原车间吹扫尾气、罐区安全排放尾气、精馏塔区安全排放尾气和还原车间安全排放尾气中的至少之一，其特征在于，包括：(1)将罐区尾气、精馏塔区尾气和还原车间吹扫尾气中的至少之一进行第一冷凝处理，以便分别得到第一氯硅烷冷凝液和第一不凝气；(2)将步骤(1)得到的所述第一氯硅烷冷凝液进行第一精馏处理，以便分别获得第一液态轻组分和第一液态重组分，所述第一液态轻组分中含有二氯二氢硅，所述第一液态重组分中含有三氯氢硅；(3)将步骤(2)得到的所述第一液态轻组分进行反歧化处理，以便得到三氯氢硅；(4)将步骤(3)得到的所述三氯氢硅进行吸附处理，以便得到纯净的三氯氢硅；以及(5)将步骤(2)得到的所述第一液态重组分进行第二精馏处理，以便得到第二液态轻组分和第二液态重组分，并将所述第二液态轻组分返回步骤(2)进行所述第一精馏处理。