四氯化硅冷氢化生产三氯氢硅的系统及方法

摘要

本发明公开了一种四氯化硅冷氢化生产三氯氢硅的系统及方法。所述系统包括氢化反应装置，用于使得包括四氯化硅、氢气和硅粉的原料进行冷氢化反应，以生成所需的三氯氢硅；所述氢化反应装置包括串联的多级氢化反应器，在工作时，所述四氯化硅顺序经过每一级氢化反应器，并在其中分别进行冷氢化反应。本发明中通过至少两台氢化反应器串联，使得一次氢化率要远高于传统加入催化剂的冷氢化工艺。间接降低了三氯氢硅生产的热能、电能等各种消耗。由于本发明不使用催化剂，一方面节省大量购买催化剂所需成本；另一方面相比于现有技术中添加催化剂引起的对管道以及设备的磨损，本发明的冷氢化系统能够长期稳定运行，且生产的三氯氢硅产品质量较好。

主权项

一种四氯化硅冷氢化生产三氯氢硅的系统，包括氢化反应装置，用于使得包括四氯化硅、氢气和硅粉的原料进行冷氢化反应，以生成所需的三氯氢硅；其特征在于，所述氢化反应装置包括串联的多级氢化反应器，在工作时，所述四氯化硅顺序经过每一级氢化反应器，并在其中分别进行冷氢化反应。