发明名称 |
具有非均匀变形能力的硏磨垫 |
摘要 |
一种具有非均匀变形能力的研磨垫,用于安装在一个研磨轮的底部,并包含:一片对应位于该研磨轮下方的底壁、一片由该底壁周缘往上延伸且结合于该研磨轮的外环壁,及至少一片与该外环壁同心间隔地由该底壁往上延伸且结合于该研磨轮的内环壁,该底壁、该外环壁、该内环壁与该研磨轮相配合界定出数个内外间隔且处于相同压力的弹性空间,该底壁具有数个分别界限出该等弹性空间之底侧的弹膜部,令该等弹膜部的密度、厚度或材料不同,而使得彼此的变形能力不同,以具有较佳的适用性。 |
申请公布号 |
TWM485495 |
申请公布日期 |
2014.09.01 |
申请号 |
TW103205831 |
申请日期 |
2014.04.03 |
申请人 |
林志菁 台南市善化区光复路626号 |
发明人 |
林志菁 |
分类号 |
H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
代理机构 |
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代理人 |
高玉骏 台北市松山区南京东路3段248号7楼;杨祺雄 台北市松山区南京东路3段248号7楼 |
主权项 |
一种具有非均匀变形能力的研磨垫,用于安装在一个研磨轮的底部,并包含:一片对应位于该研磨轮下方的底壁、一片由该底壁周缘往上延伸且结合于该研磨轮的外环壁,及至少一片与该外环壁同心间隔地由该底壁往上延伸且结合于该研磨轮的内环壁,该底壁、该外环壁、该内环壁与该研磨轮相配合界定出数个内外间隔且处于相同压力的弹性空间,该底壁具有数个分别界限出该等弹性空间之底侧的弹膜部,该等弹膜部的密度不同而使得彼此的变形能力不同。 |
地址 |
台南市善化区光复路626号 |