用于一挠性片材与一基材之接触的方法与系统

摘要

本发明系关于一种使一挠性片材与一第一元件以改良之横向对准接触之方法。该方法在第一阶段中包括一在建立该挠性片材与该第一元件及一称为锚定器之片材搁置表面之任一者之间的第一接触之后量测第一横向偏移之步骤。若该偏移超过一预定临限值，则将该挠性片材搁置于该锚定器上以使其不与该第一元件接触，且在第二阶段期间改变该第一元件与该锚定器之相对位置以在该方法之下一步骤中待建立之该挠性片材与该第一元件之间的接触期间校正失配。在移动接触点以获得第二阶段之步骤期间，接触制程比建立该初始接触之制程更为精确且可再现。本发明亦系关于一种执行该方法之装置及该方法及该装置用于制造器件之用途。

主权项

一种使一挠性片材(flexible sheet)之一片材表面与一第一元件(element)之一第一接触表面接触之方法，其包含以下步骤：a.提供一具有一锚定器(anchor)表面之锚定器，该锚定器表面及该第一接触表面互相邻接(next to each other)定位，并且以与片材表面实质相同距离定位于相同的平面上；b.使用一第一接触制程(process)建立一第一阶段，其中该片材表面之至少一第一部分系与该锚定器表面及该第一接触表面中之至少一者接触；c.当处于该第一阶段中时，测定该片材表面相对于该片材表面所接触之该锚定器表面及该第一接触表面中之至少一者的一第一横向偏移(lateral misalignment)；d.若该第一横向偏移超过一所选(chosen)临限值，则建立一第二阶段，其中该片材表面之一部分系与该锚定器表面接触，同时该片材表面无部分与该第一接触表面接触；e.当处于该第二阶段中时，调整第一相对横向位置以校正该第一横向偏移；f.使用一第二接触制程以建立一第三阶段，其中该片材表面与该第一接触表面接触，该第二接触制程比该第一接触制程更为精确。