用于压力式质流控制器之自验证的方法及装置;METHOD AND APPARATUS FOR SELF VERIFICATION OF PRESSURED BASED MASS FLOW CONTROLLERS

摘要

一种质流控制系统,当控制一流体之流动至一制程时,其之精确度能够自验证。该系统包含:用于随着控制信号之变化而控制通过该系统之流体流动的一控制阀;用于随着通过该系统之经量测的流体流动以及一目标设定点的变化而产生该控制信号的一控制器;一压力感应器用于测量及控制在测量及验证该流率作业中使用的流体压力;以及一流体源用于提供一已知容积之流体在流动控制制程之该等步骤之间的任何时候于验证该系统之精确度作业当中使用。