感光性组成物、树脂组成物、硬化膜及其制造方法、图案化硬化膜的制造方法及电子零件;PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, RESIN COMPOSITION, CURED FILM AND PRODUCING METHOD THEREOF, METHOD FOR PRODUCING PATTERNING CURED FILM AND ELECTRONIC COMPONENT

摘要

本发明的课题在于同时实现电子零件等所具有的表面保护膜及层间绝缘膜等的形成中所适宜使用的树脂组成物及感光性组成物的硬化性的提高;以及使用上述组成物而在基板上形成硬化膜的情况下,残留于该基板的内部应力的减低。一种感光性组成物,其含有:(A)具有酚性羟基的树脂、(B1)具有至少2个恶唑基的交联剂、(B2)具有至少2个以-CH2OR所表示的基(式中,R为氢原子、碳数为1~10的烷基或乙醯基)的交联剂、(C)感光性酸产生剂。