| 摘要 |
本发明系提供一种成膜装置,其使DLC(Diamond Like Carbon:类钻碳)膜等之气体阻隔性高之薄膜成膜于宝特瓶等容器之内表面、外表面之任一者、或两者。成膜装置包含:成膜腔室(6),其内部保持为真空,且使用配置于内部之发热体进行复数个容器之成膜;至少1个闸极腔室(2)、(4)、(8)、(10),其连通于成膜腔室(6),且内部被真空处理;及搬送机构(41)~(45),其经由闸极腔室(2)、(4)、(8)、(10)将保持有复数个容器之处理容器(56)搬入于成膜腔室(6),且自成膜腔室(6)搬出;成膜腔室(6)中之成膜系以将复数个容器保持于处理容器(56)之状态进行。 |
