基板制造装置及基板制造装置的维护方法

摘要

本发明提供一种基板制造装置,该基板制造装置无需扩大装置的专有面积而赋予喷嘴头的维护功能。载物台保持基板,且使所保持之基板移动。由片材保持装置保持维护片材。喷嘴头朝向保持于载物台之基板吐出墨水液滴。移动机构使维护片材及喷嘴头中的至少一方移动来实现维护片材配置在喷嘴头下方的维护位置之状态、及维护片材配置在平面观察时不与喷嘴头重叠之退避位置之状态。载物台使所保持之基板移动而通过配置在退避位置之维护片材的下方、及喷嘴头的下方。