周缘部涂布装置、周缘部涂布方法及周缘部涂布用记录媒体;PERIPHERY COATING APPARATUS, PERIPHERY COATING METHOD AND STORAGE MEDIUM THEREFOR

摘要

本发明之目的在于提供一种周缘部涂布装置、周缘部涂布方法及周缘部涂布用记录媒体,可仅在基板的周缘部效率良好地形成膜厚极为均匀的涂布膜。为达成上述之目的,于周缘部涂布单元中,进行扫入控制及扫出控制;该扫入控制,系在使晶圆W旋转的同时,从光阻液喷嘴27吐出光阻液,并使光阻液喷嘴27从晶圆W之周缘Wb的外侧往晶圆W的周缘部Wc上移动;该扫出控制,系在使晶圆W旋转的同时,从光阻液喷嘴27吐出光阻液,并使光阻液喷嘴27从晶圆W之周缘部Wc上往晶圆W之周缘Wb的外侧移动;在进行扫出控制时,以速度v2使光阻液喷嘴27移动,该速度v2低于光阻液往晶圆W之周缘Wb侧移动的速度v3。