发明名称 软板镀膜装置
摘要 一种软板镀膜装置具有镀膜室,设置于该镀膜室内顶部之滑轨,与该滑轨相配合之滑块,及设置于该滑块上之滚筒。该滑块可沿该滑轨滑动。待镀膜之软板缠绕在该滚筒上,该滚筒随该滑块在该滑轨上滑动,该滚筒可绕其中心轴相对于该滑块旋转。该镀膜装置具有用于容置不同溶液之多个溶液槽,该多个溶液槽设置于该镀膜室内底部;该多个溶液槽之排列方向与该滑块之滑动路径相一致,且该溶液槽朝向该滑轨。该滚筒进一步经由一个旋转升降机构连接于该滑块,该旋转升降机构用于控制该滚筒进入或离开该溶液槽以及控制该滚筒相对于该滑块旋转。
申请公布号 TWI450997 申请公布日期 2014.09.01
申请号 TW098144166 申请日期 2009.12.22
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 新北市土城区自由街2号 发明人 裴绍凯
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项 一种软板镀膜装置,其具有:镀膜室;设置于所述镀膜室内顶部之滑轨;与所述滑轨相配合之滑块,所述滑块可沿所述滑轨滑动;及设置于所述滑块上之滚筒,待镀膜之软板缠绕在所述滚筒上,所述滚筒随所述滑块在所述滑轨上滑动,所述滚筒可绕其中心轴相对于所述滑块旋转;其中:所述软板镀膜装置具有用于容置不同溶液之多个溶液槽,所述多个溶液槽设置于所述镀膜室内底部;所述多个溶液槽之排列方向与所述滑块之滑动路径相一致,且所述溶液槽朝向所述滑轨;所述滚筒进一步经由一个旋转升降机构连接于所述滑块,所述旋转升降机构用于控制所述滚筒进入或离开所述溶液槽以及控制所述滚筒相对于所述滑块旋转。
地址 新北市土城区自由街2号