控制压力与混合比例的方法与设备

摘要

在此提供一种与腔室压力整合之可控制供应到处理腔室之一或多种气体的混合比例的设备和方法。在一实施方式中，使用一整合的控制器来调整混合比例和腔室压力。在一实施方式中，可使用设在每一气体管线上的流量感应器和控制阀来调整混合比例和腔室压力。在一实施方式中，在每一气体管线中所使用的流量感应器对上游压力的变动不敏感。

主权项

一种用来控制气体的设备，包含：一第一流量感应器，具有一入口连接到一第一气体管线，该第一气体管线适以耦接一气体供应；一第一控制阀，连接到该第一流量感应器的一出口；一第一上游压力感应器，连接到该第一气体管线；一第二流量感应器，具有一入口连接到一第二气体管线，该第二气体管线适以耦接一气体供应；一第二控制阀，连接到该第二流量感应器的一出口；一第二上游压力感应器，连接到该第二气体管线，一控制器，配置以控制来自该第一气体管线之一气体流量与来自该第二气体管线之一气体流量的比例，其中该控制器接收来自该第一流量感应器和该第二流量感应器以及该第一上游压力感应器和该第二上游压力感应器的测量讯号，并传送控制讯号至该第一控制阀和该第二控制阀，以及其中以该第一上游压力感应器的测量值补偿该第一流量感应器的测量值，以致该第一流量感应器的测量值对压力不敏感，以及其中以该第二上游压力感应器的测量值补偿该第二流量感应器的测量值，以致该第二流量感应器的测量值对压力不敏感；以及一第三气体管线，具有一入口耦接到该第一控制阀和该第二控制阀的两个出口上。