具有可切换多区域加热器的基板支撑件;SUBSTRATE SUPPORT WITH SWITCHABLE MULTIZONE HEATER

摘要

本文提供具有加热器的基板支撑件之实施例。在某些实施例中,基板支撑件可包含第一构件、第二构件、第三构件及第四构件。第一构件用以当基板存在于第一构件之第一平坦表面上方时将热分布至基板;第二构件设置于第一构件下,第二构件包含复数个电阻性加热元件,其中该复数个电阻性加热元件提供局部温度补偿予第一构件,用以当基板存在时加热基板;第三构件设置于第二构件下,第三构件包含一或更多个基础加热区域,用以提供基础温度轮廓予第一构件;第四构件设置于第三构件下,第四构件包含第一组电导体,第一组电导体耦合至该等电阻性加热元件中之各者。