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发明名称
用于使用发光二极体进行材料处理的系统及方法;SYSTEMS AND METHODS FOR MATERIAL PROCESSING USING LIGHT-EMITTING DIODES
摘要
提供用于使用一光源总成处理由一基板支撑之一材料层的系统及方法,该光源总成包括各自由一LED阵列形成的LED光源。该材料层能够经历具有一温度相依反应速率的一光制程。该等LED中之一些发射起始该光制程之具有一第一波长的光,而该等LED中的一些发射加热该基板的具有一第二波长的光。来自该基板之该热接着加热该材料层,从而使该光制程的该温度相依反应速率增加。
申请公布号
TW201434090
申请公布日期
2014.09.01
申请号
TW103106535
申请日期
2014.02.26
申请人
精微超科技公司
发明人
赛菲罗普罗 亚瑟;汉瑞鲁克 安德鲁
分类号
H01L21/324(2006.01)
主分类号
H01L21/324(2006.01)
代理机构
代理人
<name>李文贤</name>
主权项
地址
ULTRATECH, INC. 美国
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