压力控制热管温度控制板;PRESSURE CONTROLLED HEAT PIPE TEMPERATURE CONTROL PLATE

摘要

一种用于电浆处理腔室的喷淋头电极组件,包含一喷淋头电极;一加热板,固定至喷淋头电极;至少一个压力控制热管,固定至加热板的上表面,该至少一个压力控制热管具有容纳于其中的一传热液,及一加压气体,该加压气体产生可变内压于该至少一个压力控制热管内;一顶板,固定至该至少一个热管的上表面;及其中在藉由加热板加热喷淋头电极期间,该至少一个压力控制热管内的可变内压从顶板和加热板之间的热途径移开传热液,且当从喷淋头电极中移除多余热量时,将传热液返回该热途径。