对准资讯显示方法及记录有其程式之记录媒体、对准方法、曝光方法、元件制造方法、显示系统、显示装置、测量装置及测量方法

摘要

为提供一种对准资讯显示方法，能有效率地进行对准结果的分析和评价，藉此可以容易地设定有效的对准条件和参数。;本发明之对准资讯显示方法，系输入有关对准测量的处理结果资料，并输入对准测量的参数相关资讯，然后根据所输入参数，从处理结果资料求出显示对象资讯，将求出之期望的显示对象资讯，以能明示对准测量的影响之显示形态来显示。因此，设定期望的条件，藉该设定条件的分析结果，即，因该设定条件所产生的影响可易于确认。因此，利用者可易于检测出最佳的对准条件和参数。

主权项

一种对准资讯显示方法，该资讯系有关进行物体的定位之对准测量者，其特征在于具有以下步骤：将以曝光装置所测量之EGA测量结果资料及以重叠测量装置所测量之重叠测量结果资料作为有关该对准测量之处理结果资料加以输入；输入有关该对准测量的参数之资讯；根据该输入的参数，从该输入的处理结果资料求出期望的显示对象资讯；从包含对准测量值、对准校正值、对准校正后的剩余成分及对准标记波形之复数个评价对象接受期望的评价对象的输入；从包含各既定复数批次、各单一批次、各既定复数晶圆、各单一晶圆、各处理的复数照射区域、各单一照射区域、各既定复数标记及各单一标记之复数个显示单位接受期望的显示单位的输入；从包含数值资料显示、向量资料显示、直方图、分布图、趋势图等之统计显示、分类结果显示及波形资料显示之复数个显示形态指定期望的显示形态；及将该求出之期望的显示对象资讯，以能明示该对准测量的相关参数对该对准测量的影响之既定显示形态来显示；该显示的步骤，系将求出之期望的显示对象资讯，以该输入之显示单位为单位，以该指定之显示形态加以显示，以进行该输入之评价对象之评价；该显示及该输入系藉由对话形式的介面来进行。