层间绝缘膜用感光性树脂组成物;PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION FOR INTERLAYER INSULATION FILM

摘要

本发明提供一种感光性树脂组成物,其能以低温焙烧来形成低介电常数的层间绝缘膜。该层间绝缘膜用感光性树脂组成物,包含硷可溶性树脂(A)、感光剂(B)及有机溶剂(C),并且,前述硷可溶性树脂(A)所含有的共聚物,在该共聚物的结构中具有以下述通式(a-1)所表示的结构单元(A1)、以下述通式(a-2)所表示的结构单元(A2)、及含脂环式环氧基之单元(A3)。在前述通式中,R0及R1表示氢原子或甲基,Ra表示氢原子或具有羟基之有机基。又,Rb表示烃基。