| 摘要 |
[课题]提供一种探针的制造方法,可减少从基台的探针的脱落。[技术内容]探针(16)的制造方法,是具有:在基台(32)上的牺牲层(42)上,将凹所(46a),由探针(16)及固定标签(36)的平面形状,由保护层(46)形成的过程;及在凹所(46a)内堆积探针材料,形成探针(16)及固定标签(36)的过程、及保护层46除去过程;及藉由蚀刻处理,将牺牲层(42)的一部分残留地除去,藉由残存的一部分形成被支撑于基台(32)上的探针(16)及固定标签(36)的过程;及将探针(16)取下的过程。第4过程,是将探针(16)下方的牺牲层(42)除去,在固定标签(36)下方残留牺牲层部分(42a、42b),形成将牺牲层部分(42a、42b)作为支撑点被支撑于基台(32)上的探针(16)及固定标签(36)。 |
