液体处理装置、液体处理方法及液体处理用记录媒体;LIQUID TREATMENT DEVICE, LIQUID TREATMENT METHOD AND MEDIUM FOR LIQUID TREATMENT

摘要

本发明之目的在于用一个过滤器获得与设置复数个过滤器的情况同样的过滤效率,同时防止处理量降低。为了达成上述目的,本发明根据控制部101的控制信号,使光阻液L经过过滤器52并将其吸入泵70,使泵所吸入之光阻液的一部分从吐出喷嘴7吐出,使剩下的光阻液回到过滤器的一次侧的供给管路51b,使与吐出量相等的补充量加入回流量而合流,并使所合流之光阻液以对应吐出量与回流量之比率的合流的次数实行光阻液的吐出与过滤器的过滤。