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发明名称
镀膜原料收容装置
摘要
一种镀膜原料收容装置,其包括一承载座、复数叠加且相互固定设置的坩埚以及一升降机构。所述承载座具有一收容腔,所述坩埚用于收容镀膜原料。所述坩埚固定在所述升降机构上且收容在所述收容腔内。所述承载座上开设有一开口,该开口与所述坩埚对正。所述升降机构包括一支撑轴,所述支撑轴一端与所述坩埚固定连接。所述升降机构能够带动所述坩埚相对所述承载座上下运动。
申请公布号
TWI450996
申请公布日期
2014.09.01
申请号
TW098116290
申请日期
2009.05.15
申请人
鸿海精密工业股份有限公司 新北市土城区自由街2号
发明人
裴绍凯
分类号
C23C14/56
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
一种镀膜原料收容装置,其改进在于,该镀膜原料收容装置包括一承载座、复数叠加且相互固定设置的坩埚以及一升降机构,所述承载座具有一收容腔,所述坩埚用于收容镀膜原料,所述坩埚固定在所述升降机构上且收容在所述收容腔内,所述承载座上开设有一开口,该开口与所述坩埚对正,所述升降机构包括一支撑轴,所述支撑轴一端与所述坩埚固定连接,所述升降机构能够带动所述坩埚相对所述承载座上下运动。
地址
新北市土城区自由街2号
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