发明名称 镀膜原料收容装置
摘要 一种镀膜原料收容装置,其包括一承载座、复数叠加且相互固定设置的坩埚以及一升降机构。所述承载座具有一收容腔,所述坩埚用于收容镀膜原料。所述坩埚固定在所述升降机构上且收容在所述收容腔内。所述承载座上开设有一开口,该开口与所述坩埚对正。所述升降机构包括一支撑轴,所述支撑轴一端与所述坩埚固定连接。所述升降机构能够带动所述坩埚相对所述承载座上下运动。
申请公布号 TWI450996 申请公布日期 2014.09.01
申请号 TW098116290 申请日期 2009.05.15
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 新北市土城区自由街2号 发明人 裴绍凯
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项 一种镀膜原料收容装置,其改进在于,该镀膜原料收容装置包括一承载座、复数叠加且相互固定设置的坩埚以及一升降机构,所述承载座具有一收容腔,所述坩埚用于收容镀膜原料,所述坩埚固定在所述升降机构上且收容在所述收容腔内,所述承载座上开设有一开口,该开口与所述坩埚对正,所述升降机构包括一支撑轴,所述支撑轴一端与所述坩埚固定连接,所述升降机构能够带动所述坩埚相对所述承载座上下运动。
地址 新北市土城区自由街2号