物理量计测装置及物理量计测方法

摘要

本发明适当地计测于温度变化之氛围中处理被处理体时之物理量。物理量计测装置90设置于玻璃基板G之表面。物理量计测装置90包含：计测电路91；温度感测器92，其电阻值根据玻璃基板G之温度变化而变化；第一配线93，其将计测电路91与温度感测器92连接；虚设感测器94，其具有预先规定之电阻值，且电阻值相对于玻璃基板G之温度变化之变化量小于温度感测器92之电阻值相对于玻璃基板G之温度变化之变化量；及第二配线95，其将计测电路91与虚设感测器94连接。第一配线93之电阻值相对于玻璃基板G之温度变化之变化量与第二配线95之电阻值相对于玻璃基板G之温度变化之变化量的比率为固定。

主权项

一种物理量计测装置，其特征在于：其系设置于被处理体之表面，且计测于温度变化之氛围中处理被处理体时之物理量者；且包含：物理量感测器，其电阻值根据上述物理量之变化而变化；虚设感测器，其具有预先规定之电阻值，且电阻值相对于上述物理量之变化的变化量小于上述物理量感测器之电阻值相对于上述物理量之变化的变化量；第一配线，其将上述物理量感测器与计测电路连接；及第二配线，其将上述虚设感测器与上述计测电路连接；其中上述第一配线之电阻值相对于被处理体之温度变化之变化量与上述第二配线之电阻值相对于被处理体之温度变化之变化量的比率为固定；上述第一配线与上述第二配线系至少于被处理体一面被搬送一面被进行热处理之搬送方向上延伸；于被处理体之搬送中，上述第一配线与上述第二配线分别配置于相同之温度环境下；上述物理量系被处理体之温度、或上述氛围之气体流量及流速；且上述物理量感测器系计测被处理体之温度的温度感测器、或是计测气体流量及流速的热流量计。