半导体制程;SEMICONDUCTOR PROCESS

摘要

一种半导体制程,包含有下述步骤。首先,形成一堆叠结构于一基底上。然后,覆盖一接触洞蚀刻停止层于堆叠结构以及基底。之后,形成一材料层于基底上,并暴露出覆盖堆叠结构的接触洞蚀刻停止层的一顶部。其后,整修顶部。