发明名称 半导体结构及其制造方法
摘要 一种半导体结构及其制造方法。半导体结构包括二极体。二极体包括第一掺杂区、第二掺杂区与第三掺杂区。第一掺杂区与第三掺杂区具有第一导电型。第二掺杂区具有相反于第一导电型的第二导电型。第二掺杂区与第三掺杂区系藉由第一掺杂区分开。第三掺杂区具有相邻近的第一部分与第二部分,分别靠近与远离第二掺杂区。第一部分的掺杂浓度系大于第二部分的掺杂浓度。
申请公布号 TWI451576 申请公布日期 2014.09.01
申请号 TW100125529 申请日期 2011.07.19
申请人 旺宏电子股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行路16号 发明人 陈建志;林正基;连士进;吴锡垣
分类号 H01L29/861;H01L21/329 主分类号 H01L29/861
代理机构 代理人 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2
主权项 一种半导体结构,包括一二极体,其中该二极体包括:一第一掺杂区,具有一第一导电型;一第二掺杂区,具有相反于该第一导电型的一第二导电型;以及一第三掺杂区,具有该第一导电型;其中该第二掺杂区与该第三掺杂区系藉由该第一掺杂区分开,该第三掺杂区具有相邻近的一第一部分与一第二部分,该第一部分与该第二部分系分别靠近与远离该第二掺杂区,该第一部分的掺杂浓度系大于该第二部分的掺杂浓度。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行路16号