发明名称 气体混合装置;GAS MIXING DEVICE
摘要 本发明系有关于一种用于将多个气体相混合的装置,包括:多个与混合室(1)连通的进气管(3)、用于产生循环气流的气体转向装置(4,5,18,23,24,25),以及,排气口(6,22)、或此排气口(22)所连通的排气管道(2),经由该等进气管(3)输入混合室(1)的气流系自排气口流出该混合室(1)。为了在易于使用方面进行改良,本发明提出,第一气体转向装置(4,5,18,23,24,25)系布置于混合室(1)内。
申请公布号 TW201433355 申请公布日期 2014.09.01
申请号 TW102146327 申请日期 2013.12.13
申请人 爱思强欧洲公司 发明人 帕加达拉戈琵 巴斯卡尔
分类号 B01F5/06(2006.01);B01F3/02(2006.01);C23C16/00(2006.01) 主分类号 B01F5/06(2006.01)
代理机构 代理人 <name>赖经臣</name><name>宿希成</name>
主权项
地址 AIXTRON SE 德国