具有气体扰动机制的长晶装置

摘要

本创作是一种具有气体扰动机制的长晶装置，包含一坩锅、一加热器、一绝缘腔体及一气体扰动装置。坩锅用以装盛长晶原料，加热器设于坩锅外。绝缘腔体罩覆坩锅及加热器，绝缘腔体包含一绝缘罩及一绝缘底部。其中绝缘罩具有一进气通道，绝缘罩可以与绝缘底部相对移动而达成绝缘腔体的启闭。气体扰动装置包含一风扇及一驱动器，风扇与驱动器耦合转动，其中风扇密封地设于绝缘腔体内部。本创作利用风扇的转动，增加绝缘腔体内部的气体流动，达到减少气体对流死角及改善制程中气态副产物的累积，进而提升晶碇的品质。

主权项

一种具有气体扰动机制的长晶装置，包含：一坩锅；一加热器，其设于该坩锅外；一绝缘腔体，其罩覆该坩锅及该加热器，该绝缘腔体包含一绝缘罩及一绝缘底部，该绝缘罩具有一进气通道，其中该绝缘罩与该绝缘底部相对移动而达成该绝缘腔体的启闭；以及一气体扰动装置，其包含一风扇及一驱动器，该风扇与该驱动器耦合转动，其中该风扇密封地设于该绝缘腔体内部。