透镜测量装置、透镜测量方法及透镜制造方法

摘要

本发明提供了一种透镜测量装置、透镜测量方法及透镜制造方法。;透镜测量装置(1)包括：在以不改变透镜(7)的状态的方式支撑该透镜(7)的情况下使该透镜(7)在XY平面内移动的移动台(3)，对藉着移动台(3)移动的透镜(7)的一个透镜面(71)上的点在Z轴方向上的位置进行测量的第一位置量规(4)，对藉着移动台(3)移动的透镜(7)的另一个透镜面(72)上的点在Z轴方向上的位置进行测量的第二位置量规(5)，以及根据利用移动台(3)使透镜(7)产生移动的移动量、以及第一及第二位置量规(4、5)的测量结果求出透镜(7)的形状的控制装置(10)。因此，能够以高精度且高效的方式测量透镜的形状。

主权项

一种透镜测量装置，其包含：测量台；透镜移动部，其包括X轴移动台及Y轴移动台，而使透镜于XY轴之平面内移动；第一位置测量机构，其相对于前述测量台而固定设置，且包含量规头，该量规头系伴随前述透镜的移动而于与前述平面交叉之Z轴方向进退自如地维持与前述透镜之一个面之接触，该第一位置测量机构测量该接触点之Z轴方向之位置；第二位置测量机构，其相对于前述测量台而固定设置，且包含量规头，该量规头系伴随前述透镜的移动而于与前述平面交叉之Z轴方向进退自如地维持与前述透镜之另一个面之接触，该第二位置测量机构测量该接触点之Z轴方向之位置；及透镜形状计算部，其根据由前述透镜移动部所导致之前述透镜之X轴方向及Y轴方向的移动量、以及前述第一及第二位置测量机构的测量结果求出前述透镜的形状；前述第一及第二位置测量机构只需藉由前述X轴移动台及前述Y轴移动台之驱动来使前述透镜于XY轴之平面内移动，就藉此量测前述透镜之一个面及另一个面的两个面上的与前述X轴方向及前述Y轴方向之移动量对应之任意的XY座标的点之Z轴方向之位置。