长晶炉氩气加热系统

摘要

本新型提供一种长晶炉氩气加热系统，使氩气在进入长晶炉之前能受到氩气加热箱的加热，而令进入长晶炉之氩气与矽汤表面之氩气的温度差距得以缩小，藉此能改善矽汤表面之温度下降、温度不均及温度起伏不稳的现象，进而降低晶锭之瑕疵产生。同时，本新型提供之长晶炉氩气加热系统并能令矽汤表面之氩气对流通畅，杂质得以顺利往上排出，进而降低矽汤表面之杂质含量。此外，本新型提供之长晶炉氩气加热系统更可降低长晶炉之加热器的能源耗费，兼具节能之效果。

主权项

一种长晶炉氩气加热系统，包含：一长晶炉，包含一氩气进气口，其位于该长晶炉上端；以及一氩气系统，包含：一氩气供给装置，用以供给氩气；一氩气加热箱，系连接该氩气进气口及该氩气供给装置之间，该氩气加热箱用以加热氩气；及一氩气控制器，系电性连接该长晶炉、该氩气供给装置及该氩气加热箱，且该氩气控制器因应该长晶炉状况控制该氩气供给装置的供给量及该氩气加热箱的加热温度。