显示器面板制造使用吸附盘沟槽结构

摘要

本创作系为一种显示器面板制造使用吸附盘沟槽结构，系为半导体制造时使用之静电吸盘，安装于该基板支撑及传送单元之上表面上的静电吸盘，其中包括吸附盘本体安置在一真空容器内承受器上，其吸附盘上设有沟槽，为凹槽状，且位于吸附盘本体之吸附面上，并从本体中心向外延伸至吸附面边缘处，另设有沟槽环绕于该吸附面边缘。

主权项

一种显示器面板制造使用吸附盘沟槽结构，系为显示器面板使用的真空处理设备，其中系包括：静电吸盘，包括聚醯亚胺弹性层、非弹性层及绝缘层；沟槽，系设置于该静电吸盘之吸附面上，并为条状形凹槽状；聚醯亚胺树脂层，系覆盖于该吸附面上，并藉由直流电而产生静电，使该静电吸盘增加吸附力。