基板固定装置

摘要

提供可将基板变形为所望之形状且可固定之基板固定装置。;将载置板2安装为覆盖形成有吸引孔12之基板支持面15并设置使吸引孔12连通之减压室11a~11c为负压之真空泵P。之后，藉由调整调整阀Va、Vb、Vc之开度，使减压室11a~11c内为相异负压，使吸引孔12之吸引力局部相异，在使基板变形之状态下于载置板2上吸附固定。在此，从使基板顺利变形为所望形状之观点，前述弹性多孔质构件之厚度为0.1~5mm之范围较理想。此外，前述弹性多孔质构件之弹性率为10~25N/mm2之范围较理想。另外，前述弹性多孔质构件之气孔率为20~50%之范围较理想。

主权项

一种基板固定装置，具备：具有形成有吸引孔或吸引槽之基板支持面之基台、安装为覆盖前述基板支持面之弹性多孔质构件、使前述吸引孔或吸引槽之内部产生负压之吸引手段，为了于载置于前述弹性多孔质构件之表面之基板形成划线而吸附固定该基板，其特征在于：前述基台具有经由前述吸引孔或前述吸引槽与前述弹性多孔质构件连通之3个以上之减压室；前述3个以上之减压室，系于与前述划线交叉之方向排列配置；使产生于前述各减压室之负压相异，以使吸附固定之前述基板可变形成凹或凸。