| 摘要 |
用以平行于例如遮罩的第二平面式基板对准例如晶圆之第一平面式基板的夹头,包括:顶板,具有用于该第一平面式基板之配置的顶部表面;底板;至少一距离测量感测器,被建构来测量该顶板之顶部表面与该第二平面式基板的表面间之距离;及至少三个线性致动器,其与该顶板及该底板接触。用于设定夹头的顶板上之例如晶圆的第一平面式基板及例如遮罩的第二平面式基板之间的间隙之方法,特别是藉着该夹头,该方法包括以下步骤:在至少一点测量该第一平面式基板的厚度;藉由该夹头之至少一距离测量感测器,测量该第二平面式基板之表面及该顶板的顶部表面间之距离;及藉由使用该夹头之至少三个线性致动器、较佳地系与该夹头的至少三个弹簧轴承结合,调整该第一平面式基板之顶部表面或该夹头及该第二平面式基板的表面间之倾斜。 |
