半导体装置之检测图案设计及其利用方法;TEST PATTERN DESIGN FOR SEMICONDUCTOR DEVICES AND METHOD OF UTILIZING THEREOF

摘要

提供用以检测于半导体、半导体装置或基板中之缺陷的方法及系统。也提供具有新形测试图案及/或设计之半导体、半导体装置或基板。具有复数个线路图案之半导体、半导体装置或基板产生一反应。复数个线路图案对应于一反应刺激物(如电子束辐射)。反应刺激物可以包括一电子束辐射,且影像资料可被收集及处理以产生用以指出表面及/或内部缺陷之影像。