产生方法，储存媒体及资讯处理装置;GENERATION METHOD, STORAGE MEDIUM AND INFORMATION PROCESSING APPARATUS

摘要

本发明系关于一种产生在用于曝光基板的曝光装置中使用的多个掩模的图案的资料的产生方法,该产生方法包括以下步骤:从要在基板上形成的图案要素为交点的网格上的多个点规定容许在构成要在基板上形成的目标图案的目标图案要素的点以外转印图案的容许点的步骤;和对包含到相邻的目标图案要素的距离比曝光装置的解析度极限短的目标图案要素的图案要素组,将间隙被容许点填充的网格上的相邻的目标图案要素形成组的步骤。